Category:Negativresist - negative resist

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Negativresiste sind neben den Positivresisten eine Untergruppe der Resiste.

Bei Belichtung setzt eine Vernetzung der Polymerketten ein, der Resist wird unlöslich. Im folgenden Entwicklungsschritt werden die unbelichteten Bereiche herausgelöst.

Diese Seite listet die am IMT verwendeten Negativresiste auf.