Ton - tone
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Ton
Der Ton bezeichnet im Zusammenhang mit Fotoresisten, welche Strukturen im Vergleich zum Design erhaben sind. Er wird analog zur Fotografie in das Positiv und das Negativ unterteilt.
Tonumkehr
Tonumkehr bedeutet, dass beim Kopieren ein Negativ der Maske erzeugt wird. Wird z.B. mit einer Lochmaske bestrahlt, sind auf der Kopie Säulen zu finden. Eine Tonumkehr tritt immer bei Verwendung von Positivresisten auf. Dagegen bleibt der Ton bei Negativresisten gleich.