User:Franziska.Lambrecht: Difference between revisions
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Latest revision as of 15:03, 2 November 2017
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Franziska Lambrecht
Funktionsbereich: F&E1-SMD
Aufgabengebiet: Durchstimmbare Nanoschalter durch reversible Phasenumwandlung
Gebäude / Raum: 301 / 402
Telefon: 0721-608-22759
e-mail: franziska.lambrecht@kit.edu
Stellvertreter: Randy Fechner
Tätigkeitsbeschreibung
Herstellung und Untersuchung freistehender Teststrukturen mit Nanometerabmessungen um das Skalierungsverhalten physikalischer Kenngrößen bei abnehmender Baugröße zu untersuchen.
Fertigkeiten/Kenntnisse
Geräte
- RIE/RIBE Oxford PlasmaLab 100
- 4-TEC Plasmaätzer
- Nanomanipulator-Setup von Kleindiek
- Rasterelektronenmikroskop SUPRA 60 VP
- CryoVac
- 4W-CryoVac
Prozesse
Software
Materialien
bi-NiTi, NiTi(Cu), NiMnGa
