User:Julia.Wolf: Difference between revisions
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Revision as of 15:07, 5 June 2013
Julia Wolf
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Fachbereich: F&E 1
Aufgabengebiet: Bestrahlung und Entwicklung
Raum: 125
Telefon: 23846
e-mail: julia.wolf@kit.edu
Stellvertreter: Martin Börner, Christin Straus
Tätigkeitsbeschreibung
Chemisch-technische Assistentin
- Aufbringen von Resisten (Spincoaten oder vertretungsweise Kleben)
- Oxidation
- Plasma-Reinigungsschritt (4Tec)
- Bestrahlungen an ANKA
- Nasschemisches Entwickeln bestrahlter Resiste
- Mitorganisation des Resistlabors
Fertigkeiten/Kenntnisse
Geräte
- Oxidationsanlage
- Laserbeschriftungsgerät
- Vakuumöfen
- 4-TEC Plasmaätzer
- Maskenreiniger HMR 900
- Oberflächenmessgerät TENCOR P 2
- Messmikroskop ERGOLUX
- Analysenwaage ED224S
- Spincoater (OPTIcoat ST22+)
- Umluftofen UT 6050 LAF, Fa. Kendro
- Nassprozessanlage
- Ultraschallreinigungsgerät: Sonorex
- Resistklebeplatz
- Jenoptic-Scanner, Fa. Jenoptik (Litho 1)
- Jenoptic-Scanner, Fa. Jenoptik (Litho 2)
- Hotplate (OPTIhot SHT20)
- Hotplatebox (Horst)
- Spincoater Primus STT15
- Vakuum-Trockenschrank
- Kleberoboter
Prozesse
- Spincoaten
- Oxidieren
- Bestrahlen an Anka
- Entwickeln
- Kleben (Vertretung)
Software
- DoseSim (teilweise)
- AnalySIS
- Excel
Materialien
- PMMA
- SU8 (Mrx)
