User:Birgit.Huebner

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Birgit Hübner

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Funktionsbereich: MF - Mikrofertigung

Aufgabengebiet: Resistlabor, Ätzlabor, ChemA

Raum: 252

Bau: 310

Telefon: 0721/608-22601

e-mail: birgit.huebner2@kit.edu

Stellvertreter: Julia Wolf

Tätigkeitsbeschreibung

Mitarbeiterin der Mikrofertigung,

Vertreterin von Frau Wolf (Julia Wolf) im Resistlabor im Bereich Entwicklung.

• Aufbringen von PMMA-Resist-Folien (mit Hilfe des Kleberoboters JR 2400 / Foliendicke: 100µm - 3mm)
• Resistgießen auf Invar-Maskenblank und 4"-Wafer
• Vergießen von Formeinsätzen
• Sputtern von C-Schichten
• Gefriertrocknung mit Cyclohexan
• Oxidation
• Nasschemisches Entwickeln bestrahlter Resiste (vertretungsweise)
• Nasschemisches Ätzen mit KOH und Flusssäure im Ätzlabor
• Verkleben von Glasfasern in V-Gräben auf Si-Wafern
• Mitorganisation des Resistlabors
• Verwaltung der ChemA für den Reinraumbereich

Fertigkeiten/Kenntnisse

Ich bin Chemielaborantin und arbeite nur am Vormittag im IMT.

Weitere Aufgaben am IMT

Verwaltung der ChemA für den Reinraum (IMT-Reinraum).

Neue Chemikalien, die in den Reinraum eingebracht werden, müssen vorher bei mir mit dazugehörigem Sicherheitsdatenblatt angemeldet werden.

Geräte

• Kleberoboter
• Sputteranlage UNIVEX 500
• Oxidationsanlage
• Laserbeschriftungsgerät
• Oberflächenmessgerät TENCOR P 2
• Nassprozessanlage
• Ultraschallreinigungsgerät: Sonorex
• Messmikroskop
• Analysenwaage AT 460
• Vakuumofen Vakutherm
• Umluftofen UT 6050 LAF, Fa. Kendro

Prozesse

• Resistkleben
• C-Sputtern
• Gefriertrocknung
• Oxidieren
• Nasschemisches Ätzen
• Nasschemisches Entwickeln (vertretungsweise)

Software

• JR Points (Version 4.6 - Maschinencode des Kleberoboters)
• AnalySIS
• MS Office

Materialien

• PMMA-Folien
• Durimide

PVA für IMT-Projekte

• 00-000P