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• User:Heike.Fornasier
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• Nassprozessanlage
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• Resist
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• Mr-X
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• Mr-X/English
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• Umluftofen UT 6050 LAF
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• Planarätzer P300
  ...eräteverantwortliche/Operateure:''' [[User:Uwe.Köhler|Uwe Köhler]], [[User:Heike.Fornasier|Heike Fornasier]]
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• Spincoater (OPTIcoat ST22+)
  '''Geräteverantwortliche/Operateure:''' [[User:Heike.Fornasier|Fornasier, Heike]],[[User:Marie-Kristin.Nees|Nees, Marie-Kristin]]
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• Spin Processor (Entwickler)
  '''Geräteverantwortliche/Operateure:''' [[User:Heike.Fornasier|Heike Fornasier]]
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• Belichtungsgerät LH5
  '''Geräteverantwortliche/Operateure:''' [[User:Heike.Fornasier|Heike Fornasier]]
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• Oxidationsanlage
  ...räteverantwortliche/Operateure:''' [[User:Uwe.Koehler|Uwe Köhler]], [[User:Heike.Fornasier|Heike Fornasier]]
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• Reinraum - Cleanroom/english
  |[[User:Uwe.Koehler|Uwe Köhler]], [[User:Paul.Abaffy|Paul Abaffy]], [[User:Heike.Fornasier|Heike Fornasier]], [[User:Birgit.Huebner|Birgit Hübner]], [[User:Barbara.M * OLI und Spincoater: [[User:Heike.Fornasier|Heike Fornasier]]
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• Liste der Fertigungsmittel - List of Manufacturing Equipment
  | [[User:Heike.Fornasier|Heike Fornasier]], [[User:Marie-Kristin.Nees|Marie-Kristin Nees]] | [[User:Uwe.Köhler|Uwe Köhler]], [[User:Heike.Fornasier|Heike Fornasier]]
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• Oberflächenmessgerät TENCOR P 2
  '''Principal users:''' [[user:Heike.Fornasier | Heike Fornasier]], [[user:Margarita.Zakharova | Margarita Zakharova]], [[
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• Prüfmittel Liste - List of Measurement Devices
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