User:Marie-Kristin.Nees

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Marie-Kristin Nees

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Funktionsbereich: F&E 7

Aufgabengebiet: Ebeam Operator

Raum: 125

Bau: 307

Telefon: 0721 608 2 4429

e-mail: Marie-Kristin.Gamer@kit.edu

Stellvertreter: Bacher, Andreas

Tätigkeitsbeschreibung

• Substrat Vorbereitung (Spincoaten PMMA)
• EBeam - Bedienung
• Daten Prozessierung
• Erstellen von Pythonskripts
• Substrate Entwickeln (PMMA mit IPA:MIBK)

Fertigkeiten/Kenntnisse

Geräte

• Spincoater (OPTIcoat ST22+)
• Oxidationsanlage
• Elektronenstrahlschreiber VB6 UHR-EWF
• 4-TEC Plasmaätzer
• Maskenreiniger HMR 900
• EVG 620 Double Side Mask Aligner
• Hotplate (OPTIhot SHT20)
• Sprühentwickler ST30 (organisch)
• Oberflächenmessgerät TENCOR P 2
• Schichtdickenmessgerät MPV-SP

Prozesse

• Spincoating von PMMA
• Zwischenmasken Prozessierung

Materialien

• PMMA

Weitere Aufgaben am IMT

Verwaltung des Schlüssels und dem Belegungsplan von: Spincoater (OPTIcoat ST22+), Spincoater Primus STT15