User:Birgit.Huebner: Difference between revisions

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'''Funktionsbereich''': Core Technologies (CTE)
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== Tätigkeitsbeschreibung ==
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Mitarbeiterin von Core Technologies (CTE),
Mitarbeiterin von Core Technologies (CTE),


Vertreterin von Frau Wolf ([[Benutzer:Julia.Wolf|Julia Wolf]]) im Resistlabor im Bereich Entwicklung.
Vertreterin von Frau Wolf ([[User:Julia.Wolf|Julia Wolf]]) im Resistlabor im Bereich Entwicklung.


* Aufbringen von PMMA-Resist-Folien (mit Hilfe des Kleberoboters JR 2400 / Foliendicke: 100µm - 3mm)
* Aufbringen von PMMA-Resist-Folien (mit Hilfe des Kleberoboters JR 2400 / Foliendicke: 100µm - 3mm)

Latest revision as of 20:04, 19 November 2016

English Version


Birgit Hübner

Text der Bild-Legende

Funktionsbereich: Core Technologies (CTE)

Aufgabengebiet: Resistlabor, Ätzlabor, ChemA

Raum: 252

Bau: 310

Telefon: 0721/608-22601

e-mail: mailto:birgit.huebner2@kit.edu

Stellvertreter:

Tätigkeitsbeschreibung

Mitarbeiterin von Core Technologies (CTE),

Vertreterin von Frau Wolf (Julia Wolf) im Resistlabor im Bereich Entwicklung.

  • Aufbringen von PMMA-Resist-Folien (mit Hilfe des Kleberoboters JR 2400 / Foliendicke: 100µm - 3mm)
  • Resistgießen auf Invar-Maskenblank und 4"-Wafer
  • Vergießen von Formeinsätzen
  • Sputtern von C-Schichten
  • Gefriertrocknung mit Cyclohexan
  • Oxidation
  • Nasschemisches Entwickeln bestrahlter Resiste (vertretungsweise)
  • Nasschemisches Ätzen mit KOH und Flusssäure im Ätzlabor
  • Verkleben von Glasfasern in V-Gräben auf Si-Wafern
  • Mitorganisation des Resistlabors
  • Verwaltung der ChemA für den Reinraumbereich

Fertigkeiten/Kenntnisse

Ich bin Chemielaborantin und arbeite nur am Vormittag im IMT.

Geräte

Prozesse

  • Resistkleben
  • C-Sputtern
  • Gefriertrocknung
  • Oxidieren
  • Nasschemisches Ätzen
  • Nasschemisches Entwickeln (vertretungsweise)

Software

  • JR Points (Version 4.6 - Maschinencode des Kleberoboters)
  • AnalySIS
  • MS Office

Materialien

  • PMMA-Folien
  • Durimide

Weitere Aufgaben am IMT

Verwaltung der ChemA für den Reinraum (IMT-Reinraum).

Neue Chemikalien, die in den Reinraum eingebracht werden, müssen vorher bei mir mit dazugehörigem Sicherheitsdatenblatt angemeldet werden.