User:Birgit.Huebner: Difference between revisions

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'''Funktionsbereich''': Mikrofertigung
'''Funktionsbereich''': Core Technologies (CTE)


'''Aufgabengebiet''': Resistlabor
'''Aufgabengebiet''': [[Resistlabor|Resistlabor]], Ätzlabor, ChemA


'''Raum''': 252
'''Raum''': 252


'''Telefon''': 22601
'''Bau''': 310


'''e-mail''': birgit.huebner2@kit.edu
'''Telefon''': 0721/608-22601

'''e-mail''': mailto:birgit.huebner2@kit.edu

'''Stellvertreter''':


== Tätigkeitsbeschreibung ==
== Tätigkeitsbeschreibung ==


Mitarbeiterin von Core Technologies (CTE),
Mitarbeiterin der Mikrofertigung, Vertreterin von Frau Wolf ([[Julia.Wolf]]) im Resistlabor im Bereich Entwicklung.


Vertreterin von Frau Wolf ([[User:Julia.Wolf|Julia Wolf]]) im Resistlabor im Bereich Entwicklung.
== Fertigkeiten/Kenntnisse ==


* Aufbringen von PMMA-Resist-Folien (mit Hilfe des Kleberoboters JR 2400 / Foliendicke: 100µm - 3mm)
* Resistgießen auf Invar-Maskenblank und 4"-Wafer
* Vergießen von Formeinsätzen
* Sputtern von C-Schichten
* Gefriertrocknung mit Cyclohexan
* Oxidation
* Nasschemisches Entwickeln bestrahlter Resiste (vertretungsweise)
* Nasschemisches Ätzen mit KOH und Flusssäure im Ätzlabor
* Verkleben von Glasfasern in V-Gräben auf Si-Wafern
* Mitorganisation des Resistlabors
* Verwaltung der ChemA für den Reinraumbereich

== Fertigkeiten/Kenntnisse ==
Ich bin Chemielaborantin und arbeite nur am Vormittag im IMT.
Ich bin Chemielaborantin und arbeite nur am Vormittag im IMT.


=== Geräte ===
== Weitere Aufgaben am IMT ==
*[[Kleberoboter]]
Verwaltung der ChemA für den Reinraum ([[Reinraum - Cleanroom|IMT-Reinraums]]).
*[[Sputteranlage UNIVEX 500]]
Neue Chemikalien, die in den Reinraum eingebracht werden, müssen vorher bei mir angemeldet werden.
*[[Oxidationsanlage]]
*[[Laserbeschriftungsgerät]]
*[[Oberflächenmessgerät TENCOR P 2]]
*[[Nassprozessanlage]]
*[[Ultraschallreinigungsgerät: Sonorex]]
*[[Messmikroskop Metalloplan HL]]
*[[Höhentaster MT 60M]]
*[[Analysenwaage AT 460]]
*[[Vakuumofen Vacutherm]]
*[[Vakuumofen VT 6060 P]]
*[[Vakuum-Trockenschrank WTB Binder]]
*[[Umluftofen UT 5050 EK-LAF]]
*[[Umluftofen UT 5050]]
*[[Zeit-Drucksteuergerät]]


=== Prozesse ===
Dazu muss man mir das dazugehörige Sicherheitsdatenblatt bitte per E-Mail schicken.
* Resistkleben
* C-Sputtern
* Gefriertrocknung
* Oxidieren
* Nasschemisches Ätzen
* Nasschemisches Entwickeln (vertretungsweise)

=== Software ===

* JR Points (Version 4.6 - Maschinencode des Kleberoboters)
* AnalySIS
* MS Office

=== Materialien ===
* PMMA-Folien
* Durimide

== Weitere Aufgaben am IMT ==
Verwaltung der ChemA für den Reinraum ([[Reinraum - Cleanroom|IMT-Reinraum]]).


Neue Chemikalien, die in den Reinraum eingebracht werden, müssen vorher bei mir mit dazugehörigem Sicherheitsdatenblatt angemeldet werden.
== Werdegang im IMT ==


[[Category:Mitarbeiter - Employees]]
<!-- Weitere Kategorien: FuEX, -->
[[Kategorie:Mitarbeiter - Employees]]

Latest revision as of 20:04, 19 November 2016

English Version


Birgit Hübner

Text der Bild-Legende

Funktionsbereich: Core Technologies (CTE)

Aufgabengebiet: Resistlabor, Ätzlabor, ChemA

Raum: 252

Bau: 310

Telefon: 0721/608-22601

e-mail: mailto:birgit.huebner2@kit.edu

Stellvertreter:

Tätigkeitsbeschreibung

Mitarbeiterin von Core Technologies (CTE),

Vertreterin von Frau Wolf (Julia Wolf) im Resistlabor im Bereich Entwicklung.

  • Aufbringen von PMMA-Resist-Folien (mit Hilfe des Kleberoboters JR 2400 / Foliendicke: 100µm - 3mm)
  • Resistgießen auf Invar-Maskenblank und 4"-Wafer
  • Vergießen von Formeinsätzen
  • Sputtern von C-Schichten
  • Gefriertrocknung mit Cyclohexan
  • Oxidation
  • Nasschemisches Entwickeln bestrahlter Resiste (vertretungsweise)
  • Nasschemisches Ätzen mit KOH und Flusssäure im Ätzlabor
  • Verkleben von Glasfasern in V-Gräben auf Si-Wafern
  • Mitorganisation des Resistlabors
  • Verwaltung der ChemA für den Reinraumbereich

Fertigkeiten/Kenntnisse

Ich bin Chemielaborantin und arbeite nur am Vormittag im IMT.

Geräte

Prozesse

  • Resistkleben
  • C-Sputtern
  • Gefriertrocknung
  • Oxidieren
  • Nasschemisches Ätzen
  • Nasschemisches Entwickeln (vertretungsweise)

Software

  • JR Points (Version 4.6 - Maschinencode des Kleberoboters)
  • AnalySIS
  • MS Office

Materialien

  • PMMA-Folien
  • Durimide

Weitere Aufgaben am IMT

Verwaltung der ChemA für den Reinraum (IMT-Reinraum).

Neue Chemikalien, die in den Reinraum eingebracht werden, müssen vorher bei mir mit dazugehörigem Sicherheitsdatenblatt angemeldet werden.