User:Birgit.Huebner: Difference between revisions

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'''Funktionsbereich''': MF - Mikrofertigung
'''Funktionsbereich''': Core Technologies (CTE)


'''Aufgabengebiet''': Resistlabor, Ätzlabor, ChemA
'''Aufgabengebiet''': [[Resistlabor|Resistlabor]], Ätzlabor, ChemA


'''Raum''': 252
'''Raum''': 252
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'''Telefon''': 0721/608-22601
'''Telefon''': 0721/608-22601


'''e-mail''': birgit.huebner2@kit.edu
'''e-mail''': mailto:birgit.huebner2@kit.edu


'''Stellvertreter''': [[Benutzer:Julia.Wolf|Julia Wolf]]
'''Stellvertreter''':


== Tätigkeitsbeschreibung ==
== Tätigkeitsbeschreibung ==


Mitarbeiterin der Mikrofertigung,
Mitarbeiterin von Core Technologies (CTE),


Vertreterin von Frau Wolf ([[Julia.Wolf]]) im Resistlabor im Bereich Entwicklung.
Vertreterin von Frau Wolf ([[User:Julia.Wolf|Julia Wolf]]) im Resistlabor im Bereich Entwicklung.


* Aufbringen von PMMA-Resist-Folien (mit Hilfe des Kleberoboters JR 2400 / Foliendicke: 100µm - 3mm)
* Aufbringen von PMMA-Resist-Folien (mit Hilfe des Kleberoboters JR 2400 / Foliendicke: 100µm - 3mm)
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== Fertigkeiten/Kenntnisse ==
== Fertigkeiten/Kenntnisse ==
Ich bin Chemielaborantin und arbeite nur am Vormittag im IMT.
Ich bin Chemielaborantin und arbeite nur am Vormittag im IMT.

== Weitere Aufgaben am IMT ==
⚫
Verwaltung der ChemA für den Reinraum ([[Reinraum - Cleanroom|IMT-Reinraum]]).

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Neue Chemikalien, die in den Reinraum eingebracht werden, müssen vorher bei mir mit dazugehörigem Sicherheitsdatenblatt angemeldet werden.


=== Geräte ===
=== Geräte ===
*[[Kleberoboter]]
*[[Kleberoboter]]
*[[Sputteranlage UNIVEX 500]]
*[[Oxidationsanlage]]
*[[Oxidationsanlage]]
*[[Laserbeschriftungsgerät]]
*[[Laserbeschriftungsgerät]]
*[[Vakuumöfen]]
*[[Oberflächenmessgerät TENCOR P 2]]
*[[Oberflächenmessgerät TENCOR P 2]]
⚫
*[[Messmikroskop]]
⚫
*[[Analysenwaage ED224S]]
⚫
*[[Umluftofen UT 6050 LAF, Fa. Kendro]]
*[[Nassprozessanlage]]
*[[Nassprozessanlage]]
*[[Ultraschallreinigungsgerät: Sonorex]]
*[[Ultraschallreinigungsgerät: Sonorex]]
⚫
*[[Messmikroskop Metalloplan HL]]
*[[Höhentaster MT 60M]]
⚫
*[[Analysenwaage AT 460]]
*[[Vakuumofen Vacutherm]]
*[[Vakuumofen VT 6060 P]]
*[[Vakuum-Trockenschrank WTB Binder]]
⚫
*[[Umluftofen UT 5050 EK-LAF]]
*[[Umluftofen UT 5050]]
*[[Zeit-Drucksteuergerät]]


=== Prozesse ===
=== Prozesse ===
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* PMMA-Folien
* PMMA-Folien
* Durimide
* Durimide


== [[Abkürzungen - Abbreviations|PVA]] für IMT-Projekte ==
* [[00-000P]]


== Weitere Aufgaben am IMT ==
== Weitere Aufgaben am IMT ==
⚫
Verwaltung der ChemA für den Reinraum ([[Reinraum - Cleanroom|IMT-Reinraum]]).
<!-- z.B. Geräteveratwortlicher, Gremienzugehörigkeit, etc. falls nicht zutreffend, bitte Überschrift entfernen -->


⚫
Neue Chemikalien, die in den Reinraum eingebracht werden, müssen vorher bei mir mit dazugehörigem Sicherheitsdatenblatt angemeldet werden.
<!-- Optionale Einträge wie Veröffentlichungen und Vorträge andere Wunschthemen -->

<!-- Weitere Kategorien: FuEX, -->
⚫
[[Kategorie:Mitarbeiter - Employees]]


== Werdegang im IMT ==


⚫
[[Category:Mitarbeiter - Employees]]
<!-- Weitere Kategorien: FuEX, -->
[[Kategorie:Mitarbeiter - Employees]]

Latest revision as of 20:04, 19 November 2016

English Version


Birgit Hübner

Text der Bild-Legende

Funktionsbereich: Core Technologies (CTE)

Aufgabengebiet: Resistlabor, Ätzlabor, ChemA

Raum: 252

Bau: 310

Telefon: 0721/608-22601

e-mail: mailto:birgit.huebner2@kit.edu

Stellvertreter:

Tätigkeitsbeschreibung

Mitarbeiterin von Core Technologies (CTE),

Vertreterin von Frau Wolf (Julia Wolf) im Resistlabor im Bereich Entwicklung.

  • Aufbringen von PMMA-Resist-Folien (mit Hilfe des Kleberoboters JR 2400 / Foliendicke: 100µm - 3mm)
  • Resistgießen auf Invar-Maskenblank und 4"-Wafer
  • Vergießen von Formeinsätzen
  • Sputtern von C-Schichten
  • Gefriertrocknung mit Cyclohexan
  • Oxidation
  • Nasschemisches Entwickeln bestrahlter Resiste (vertretungsweise)
  • Nasschemisches Ätzen mit KOH und Flusssäure im Ätzlabor
  • Verkleben von Glasfasern in V-Gräben auf Si-Wafern
  • Mitorganisation des Resistlabors
  • Verwaltung der ChemA für den Reinraumbereich

Fertigkeiten/Kenntnisse

Ich bin Chemielaborantin und arbeite nur am Vormittag im IMT.

Geräte

Prozesse

  • Resistkleben
  • C-Sputtern
  • Gefriertrocknung
  • Oxidieren
  • Nasschemisches Ätzen
  • Nasschemisches Entwickeln (vertretungsweise)

Software

  • JR Points (Version 4.6 - Maschinencode des Kleberoboters)
  • AnalySIS
  • MS Office

Materialien

  • PMMA-Folien
  • Durimide

Weitere Aufgaben am IMT

Verwaltung der ChemA für den Reinraum (IMT-Reinraum).

Neue Chemikalien, die in den Reinraum eingebracht werden, müssen vorher bei mir mit dazugehörigem Sicherheitsdatenblatt angemeldet werden.

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