User:Birgit.Huebner: Difference between revisions
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Latest revision as of 20:04, 19 November 2016
Birgit Hübner
Funktionsbereich: Core Technologies (CTE)
Aufgabengebiet: Resistlabor, Ätzlabor, ChemA
Raum: 252
Bau: 310
Telefon: 0721/608-22601
e-mail: mailto:birgit.huebner2@kit.edu
Stellvertreter:
Tätigkeitsbeschreibung
Mitarbeiterin von Core Technologies (CTE),
Vertreterin von Frau Wolf (Julia Wolf) im Resistlabor im Bereich Entwicklung.
- Aufbringen von PMMA-Resist-Folien (mit Hilfe des Kleberoboters JR 2400 / Foliendicke: 100µm - 3mm)
- Resistgießen auf Invar-Maskenblank und 4"-Wafer
- Vergießen von Formeinsätzen
- Sputtern von C-Schichten
- Gefriertrocknung mit Cyclohexan
- Oxidation
- Nasschemisches Entwickeln bestrahlter Resiste (vertretungsweise)
- Nasschemisches Ätzen mit KOH und Flusssäure im Ätzlabor
- Verkleben von Glasfasern in V-Gräben auf Si-Wafern
- Mitorganisation des Resistlabors
- Verwaltung der ChemA für den Reinraumbereich
Fertigkeiten/Kenntnisse
Ich bin Chemielaborantin und arbeite nur am Vormittag im IMT.
Geräte
- Kleberoboter
- Sputteranlage UNIVEX 500
- Oxidationsanlage
- Laserbeschriftungsgerät
- Oberflächenmessgerät TENCOR P 2
- Nassprozessanlage
- Ultraschallreinigungsgerät: Sonorex
- Messmikroskop Metalloplan HL
- Höhentaster MT 60M
- Analysenwaage AT 460
- Vakuumofen Vacutherm
- Vakuumofen VT 6060 P
- Vakuum-Trockenschrank WTB Binder
- Umluftofen UT 5050 EK-LAF
- Umluftofen UT 5050
- Zeit-Drucksteuergerät
Prozesse
- Resistkleben
- C-Sputtern
- Gefriertrocknung
- Oxidieren
- Nasschemisches Ätzen
- Nasschemisches Entwickeln (vertretungsweise)
Software
- JR Points (Version 4.6 - Maschinencode des Kleberoboters)
- AnalySIS
- MS Office
Materialien
- PMMA-Folien
- Durimide
Weitere Aufgaben am IMT
Verwaltung der ChemA für den Reinraum (IMT-Reinraum).
Neue Chemikalien, die in den Reinraum eingebracht werden, müssen vorher bei mir mit dazugehörigem Sicherheitsdatenblatt angemeldet werden.
