User:Birgit.Huebner: Difference between revisions

Latest revision as of 20:04, 19 November 2016

Funktionsbereich: Core Technologies (CTE)

Aufgabengebiet: Resistlabor, Ätzlabor, ChemA

Raum: 252

Bau: 310

Telefon: 0721/608-22601

e-mail: mailto:birgit.huebner2@kit.edu

Stellvertreter:

Mitarbeiterin von Core Technologies (CTE),

Vertreterin von Frau Wolf (Julia Wolf) im Resistlabor im Bereich Entwicklung.

Aufbringen von PMMA-Resist-Folien (mit Hilfe des Kleberoboters JR 2400 / Foliendicke: 100µm - 3mm)
Resistgießen auf Invar-Maskenblank und 4"-Wafer
Vergießen von Formeinsätzen
Sputtern von C-Schichten
Gefriertrocknung mit Cyclohexan
Oxidation
Nasschemisches Entwickeln bestrahlter Resiste (vertretungsweise)
Nasschemisches Ätzen mit KOH und Flusssäure im Ätzlabor
Verkleben von Glasfasern in V-Gräben auf Si-Wafern
Mitorganisation des Resistlabors
Verwaltung der ChemA für den Reinraumbereich

Ich bin Chemielaborantin und arbeite nur am Vormittag im IMT.

Verwaltung der ChemA für den Reinraum (IMT-Reinraum).

Neue Chemikalien, die in den Reinraum eingebracht werden, müssen vorher bei mir mit dazugehörigem Sicherheitsdatenblatt angemeldet werden.

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 '''Funktionsbereich''': Core Technologies (CTE)
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 Mitarbeiterin von Core Technologies (CTE),
-Vertreterin von Frau Wolf ([[Benutzer:Julia.Wolf|Julia Wolf]]) im Resistlabor im Bereich Entwicklung.
+Vertreterin von Frau Wolf ([[User:Julia.Wolf|Julia Wolf]]) im Resistlabor im Bereich Entwicklung.
 * Aufbringen von PMMA-Resist-Folien (mit Hilfe des Kleberoboters JR 2400 / Foliendicke: 100µm - 3mm)