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Dissertations


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2004
Magnetically driven micro ball valve fabricated by multilayer adhesive film bonding. PhD dissertation.
Fu, C.-C.; Truckenmueller, R.; Rummler, Z.; Schomburg, W. K.
2004. Karlsruhe 2004. (Wissenschaftliche Berichte. FZKA. 6960.) Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 19.11.2003 von Chien-Chung Fu Full text Full text of the publication as PDF document
Entwicklung von miniaturisierten Fourier-Transformations-Spektrometern und ihre Herstellung mit dem LIGA-Verfahren. PhD dissertation.
Solf, C.
2004. Karlsruhe 2004. (Wissenschaftliche Berichte. FZKA. 6964.) Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 24.11.2003 u.d.T.: Entwicklung miniaturisierter Fourier-Transformations-Spektrometer und ihre Herstellung mit dem LIGA-Verfahren Full text Full text of the publication as PDF document
2003
Fehllicht in LIGA-Mikrospektrometern [online]. PhD dissertation.
Last, A.; Mohr, J.
2003. Karlsruhe 2003. (Wissenschaftliche Berichte. FZKA. 6885.) Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 12.12.2002 von Arndt Last Full text Full text of the publication as PDF document
Formgedächtnis-Mikroventile mit hoher Energiedichte. PhD dissertation.
Liu, Y.; Kohl, M.
2003. Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6934 (November 2003) Dissertation (Y.Liu), Universität Karlsruhe 2003 Full text Full text of the publication as PDF document
Herstellung von dreidimensionalen Mikrostrukturen aus Polymermembranen. PhD dissertation.
Truckenmueller, R. K.; Rummler, Z.; Schomburg, W. K.
2003. Karlsruhe 2003. (Wissenschaftliche Berichte. FZKA. 6801.) Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 17.7.2002 von Roman Kurt Truckenmüller Full text Full text of the publication as PDF document
Analyse des Mikro-Heißprägeverfahrens. PhD dissertation.
Worgull, M.; Heckele, M.; Schomburg, W. K.
2003. Karlsruhe 2003. (Wissenschaftliche Berichte. FZKA. 6922.) Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 17.7.2003 von Matthias Worgull Full text Full text of the publication as PDF document
2002
Durchflusssensoren aus Kunststoff für sehr kleine Volumenströme auf der Basis des AMANDA-Verfahrens. PhD dissertation.
Dittmann, D.; Rummler, Z.; Schlote-Holubek, K.; Schomburg, W. K.
2002. Karlsruhe 2002. (Wissenschaftliche Berichte. FZKA. 6710.) Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 11.12.2001 von Dirk Maria Dittmann Full text Full text of the publication as PDF document
2001
Entwicklung eines Formgedächtnis-Mikrogreifers. PhD dissertation.
Just, E.
2001. Karlsruhe 2001. (Wissenschaftliche Berichte. FZKA. 6570.) Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 16.11.2000 Full text Full text of the publication as PDF document
Entwicklung eines piezogetriebenen Mikroventils - von der Idee bis zur Vorserienfertigung. PhD dissertation.
Rogge, T.; Rummler, Z.; Schomburg, W. K.
2001. Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6671 (November 2001) Dissertation (T.Rogge), Universität Karlsruhe 2001 Full text Full text of the publication as PDF document
Hybride Drucksensoren aus Kunststoff und Glas nach dem AMANDA-Verfahren. PhD dissertation.
Wulff, K.; Rummler, Z.; Schomburg, W. K.
2001. Karlsruhe 2001. (Wissenschaftliche Berichte. FZKA. 6682.) Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 19.7.2001 von Kolja Wulff Full text Full text of the publication as PDF document
2000
Optimierung der Prozeßbedingungen zur Herstellung von Mikrostrukturen durch ultratiefe Röntgenlithographie (UDXRL). PhD dissertation.
Achenbach, S.; Pantenburg, F. J.; Mohr, J.
2000. Karlsruhe 2000. (Wissenschaftliche Berichte. FZKA. 6576.) Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 14.7.2000 von Sven Achenbach. doi:10.5445/IR/5522000Full text Full text of the publication as PDF document
Entwicklung eines magnetisch-induktiven Mikroventils nach dem AMANDA-Verfahren. PhD dissertation.
Kaiser, S. C.
2000. Karlsruhe 2000. (Wissenschaftliche Berichte. FZKA. 6511.) Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 25.7.2000 Full text Full text of the publication as PDF document
Galvanische Abscheidung von Metallen aus nichtwäßrigen Elektrolyten für die Mikrosystemtechnik. PhD dissertation.
Karthaus, J.; Bade, K.; Bacher, W.
2000. Karlsruhe 2000. (Wissenschaftliche Berichte. FZKA. 6455.) Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 25.1.2000 von Jürgen Karthaus Full text Full text of the publication as PDF document
Entwicklung einer opto-elektro-mechanischen 2x2 Schaltmatrix in LIGA-Technik für die optische Telekommunikation. PhD dissertation.
Ruzzu, A. C. M.; Wallrabe, U.; Mohr, J.
2000. Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6514 (Dezember 2000) Dissertation (A.C.M. Ruzzu), Universität Karlsruhe 2000 Full text Full text of the publication as PDF document