BioMEMS - Microsystems Technologies for Life-Sciences and Medicine I

Language of instructionGerman
Bibliography

Menz, W., Mohr, J., O. Paul: Mikrosystemtechnik für Ingenieure, VCH-Verlag, Weinheim, 2005

M. Madou
Fundamentals of Microfabrication
Taylor & Francis Ltd.; Auflage: 3. Auflage. 2011

Organisational issues

BioMEMS I-Klausur: Mo, 22.03.2027,  10:00 - 12:00;  10.91 Franz-Grashof-Hörsaal
                                                                                            [10.91 Ferdinand-Redtenbacher-Hörsaal]

BioMEMS II-Klausur:  Mi, 24.02.2027,  10:00 - 12:00;  10.21 Carl-Benz-Hörsaal

BioMEMS III-Klausur:  Mo, 01.03.2027,  10:00 - 12:00;  30.33 Messtechnik-Hörsaal (MTI)
                                                                                     [30.35 Hochspannungstechnik-Hörsaal (MSI)]