Institute of Microstructure Technology (IMT)

Dissertations


2020
2019
2018
2017
2016
Scalable fabrication of three dimensional photonic nanostructures with shape memory polymers. PhD dissertation.
Schneider, N.
2016. Karlsruher Institut für Technologie (KIT) 
2014
2013
2012
2010
2006
Großflächige quasi freistrahloptische Mikrospektrometer. PhD dissertation.
Moran-Iglesias, C. J.; Last, A.; Mohr, J.
2006. Wissenschaftliche Berichte, FZKA-7211 (August 2006) Dissertation (C.J.Moran-Iglesias), Universität Karlsruhe 2005 Full textFull text of the publication as PDF document
2004
Magnetically driven micro ball valve fabricated by multilayer adhesive film bonding. PhD dissertation.
Fu, C.-C.; Truckenmueller, R.; Rummler, Z.; Schomburg, W. K.
2004. Karlsruhe 2004. (Wissenschaftliche Berichte. FZKA. 6960.) Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 19.11.2003 von Chien-Chung Fu., Universität Karlsruhe. doi:10.5445/IR/22004Full textFull text of the publication as PDF document
Entwicklung von miniaturisierten Fourier-Transformations-Spektrometern und ihre Herstellung mit dem LIGA-Verfahren. PhD dissertation.
Solf, C.
2004. Karlsruhe 2004. (Wissenschaftliche Berichte. FZKA. 6964.) Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 24.11.2003 u.d.T.: Entwicklung miniaturisierter Fourier-Transformations-Spektrometer und ihre Herstellung mit dem LIGA-Verfahren., Universität Karlsruhe. doi:10.5445/IR/332004Full textFull text of the publication as PDF document
2003
Fehllicht in LIGA-Mikrospektrometern [online]. PhD dissertation.
Last, A.; Mohr, J.
2003. Karlsruhe 2003. (Wissenschaftliche Berichte. FZKA. 6885.) Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 12.12.2002 von Arndt Last., Universität Karlsruhe. doi:10.5445/IR/3402003Full textFull text of the publication as PDF document
Formgedächtnis-Mikroventile mit hoher Energiedichte. PhD dissertation.
Liu, Y.; Kohl, M.
2003. Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6934 (November 2003) Dissertation (Y.Liu), Universität Karlsruhe 2003, Universität Karlsruhe. doi:10.5445/IR/200056094Full textFull text of the publication as PDF document
Herstellung von dreidimensionalen Mikrostrukturen aus Polymermembranen. PhD dissertation.
Truckenmueller, R. K.; Rummler, Z.; Schomburg, W. K.
2003. Karlsruhe 2003. (Wissenschaftliche Berichte. FZKA. 6801.) Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 17.7.2002 von Roman Kurt Truckenmüller., Universität Karlsruhe. doi:10.5445/IR/1092003Full textFull text of the publication as PDF document
Analyse des Mikro-Heißprägeverfahrens. PhD dissertation.
Worgull, M.; Heckele, M.; Schomburg, W. K.
2003. Karlsruhe 2003. (Wissenschaftliche Berichte. FZKA. 6922.) Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 17.7.2003 von Matthias Worgull., Universität Karlsruhe. doi:10.5445/IR/4342003Full textFull text of the publication as PDF document
2002
Durchflusssensoren aus Kunststoff für sehr kleine Volumenströme auf der Basis des AMANDA-Verfahrens. PhD dissertation.
Dittmann, D.; Rummler, Z.; Schlote-Holubek, K.; Schomburg, W. K.
2002. Karlsruhe 2002. (Wissenschaftliche Berichte. FZKA. 6710.) Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 11.12.2001 von Dirk Maria Dittmann., Universität Karlsruhe. doi:10.5445/IR/552002Full textFull text of the publication as PDF document
2001
Entwicklung eines Formgedächtnis-Mikrogreifers. PhD dissertation.
Just, E.
2001. Karlsruhe 2001. (Wissenschaftliche Berichte. FZKA. 6570.) Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 16.11.2000., Universität Karlsruhe. doi:10.5445/IR/402001Full textFull text of the publication as PDF document
Entwicklung eines piezogetriebenen Mikroventils - von der Idee bis zur Vorserienfertigung. PhD dissertation.
Rogge, T.; Rummler, Z.; Schomburg, W. K.
2001. Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6671 (November 2001) Dissertation (T.Rogge), Universität Karlsruhe 2001 Full textFull text of the publication as PDF document
Hybride Drucksensoren aus Kunststoff und Glas nach dem AMANDA-Verfahren. PhD dissertation.
Wulff, K.; Rummler, Z.; Schomburg, W. K.
2001. Karlsruhe 2001. (Wissenschaftliche Berichte. FZKA. 6682.) Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 19.7.2001 von Kolja Wulff., Universität Karlsruhe. doi:10.5445/IR/4642001Full textFull text of the publication as PDF document
2000
Optimierung der Prozeßbedingungen zur Herstellung von Mikrostrukturen durch ultratiefe Röntgenlithographie (UDXRL). PhD dissertation.
Achenbach, S.; Pantenburg, F. J.; Mohr, J.
2000. Karlsruhe 2000. (Wissenschaftliche Berichte. FZKA. 6576.) Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 14.7.2000 von Sven Achenbach., Universität Karlsruhe. doi:10.5445/IR/5522000Full textFull text of the publication as PDF document
Entwicklung eines magnetisch-induktiven Mikroventils nach dem AMANDA-Verfahren. PhD dissertation.
Kaiser, S. C.
2000. Karlsruhe 2000. (Wissenschaftliche Berichte. FZKA. 6511.) Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 25.7.2000., Universität Karlsruhe. doi:10.5445/IR/5432000Full textFull text of the publication as PDF document
Galvanische Abscheidung von Metallen aus nichtwäßrigen Elektrolyten für die Mikrosystemtechnik. PhD dissertation.
Karthaus, J.; Bade, K.; Bacher, W.
2000. Karlsruhe 2000. (Wissenschaftliche Berichte. FZKA. 6455.) Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 25.1.2000 von Jürgen Karthaus., Universität Karlsruhe. doi:10.5445/IR/422000Full textFull text of the publication as PDF document
Entwicklung einer opto-elektro-mechanischen 2x2 Schaltmatrix in LIGA-Technik für die optische Telekommunikation. PhD dissertation.
Ruzzu, A. C. M.; Wallrabe, U.; Mohr, J.
2000. Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6514 (Dezember 2000) Dissertation (A.C.M. Ruzzu), Universität Karlsruhe 2000 Full textFull text of the publication as PDF document